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産品特色
Ø 采用高級PLC模塊,工業級伺服電機;8英寸彩色觸屏控制,人機界面(miàn);
Ø HDPE高分子内腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能(néng);内腔壁采用凹面(miàn)設計,有效防濺;
Ø 可編程寫和存儲100組程序,每組100步;
Ø 帶真空度安全互鎖檢測功能(néng);帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng);帶排廢接口;
Ø 具有電機進膠保護功能(néng);管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能(néng),具有斷電後參數自動保存功能(néng)。
Ø 正、反轉旋塗方向(xiàng)可自由切換;旋塗參數可設置循環執行;速度-時間曲線實時顯示;
Ø 可設置用戶密碼保護功能(néng);配置可調基座,方便調節水平;
性能(néng)參數
Ø 适用晶元尺寸範圍:Ø5~220mm;
Ø 旋塗速度:0~10000rpm;轉速分辨率:1rpm;旋塗加速度:0-50000rpm/s(空載);
Ø 最大旋塗時間:3000s;旋塗時間精度:0.1s;
Ø 内腔壁采用凹面(miàn)防濺設計;
Ø 具備單步快速旋塗和多步編程旋塗,可編程100組程序,每組程序100步;
Ø 均勻性:<±3%(需去邊3mm區域測量);
Ø 電源輸入:AC200-230V;
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