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産品特色
Ø 設計緊湊,可放置在手套箱内;
Ø 4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面(miàn);
Ø 一體加工成(chéng)型的HDPE内腔,耐腐蝕,易清潔;内腔壁采用凹面(miàn)設計,有效防濺;
Ø 高級PLC全自動程序控制,可編程;
Ø 帶真空度安全互鎖檢測功能(néng);帶蓋子安全互鎖檢測功能(néng);
Ø 具有電機進膠保護功能(néng);管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能(néng),具有斷電後參數自動保存功能(néng)。
Ø 不鏽鋼外殼,美觀耐腐蝕;
Ø 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統;
Ø 可設置用戶密碼保護功能(néng);
Ø 配置可調基座,方便調節水平;
性能(néng)參數
Ø 适用晶元尺寸範圍:Ø5~160mm;
Ø 旋塗速度:100~12000rpm;轉速分辨率:1rpm;
Ø 旋塗加速度:100-30000rpm/s;
Ø 最大旋塗時間:3000s;旋塗時間精度:0.1s;
Ø 内腔直徑220mm,内腔壁采用凹面(miàn)防濺設計;
Ø 具備單步快速旋塗和多步編程旋塗,可編程100組程序,每組程序10步;
Ø 電源輸入:AC200-230V;
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