可編程精密勻膠機

可編程精密勻膠機

型号：HC150SE

HC150SE可編程精密勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好(hǎo)。可用于微電子、半導體、新能(néng)源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜塗層的制備。

特點：

l  設計緊湊，可輕松放置在手套箱内使用。

l  HDPE高分子材料旋塗内腔，耐腐蝕；采用分體式結構，易清洗和移動。

l  4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用，可精确設置實驗參數，運行狀态實時顯示；

l  經CNC一體加工成(chéng)型的HDPE内腔，内腔壁采用凹面(miàn)設計，有效防濺；

l采用高級PLC程序控制，旋塗速度、旋塗時間、加速度等工藝參數可編程，實現快速旋塗和多步編程旋塗；

l 具有電機進膠保護功能(néng)；管路易疏通結構設計；

l  轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

l  可設置用戶密碼保護功能(néng)；

技術參數：

l  适用晶元尺寸範圍：Ø10~150mm；

l  旋塗速度：100~12000rpm；

l  轉速分辨率：1rpm；

l  旋塗加速度：100-30000rpm/s；

l  最大旋塗時間：3000s；

l  旋塗時間精度：0.1s；

l  内腔直徑212mm，内腔采用*的凹面(miàn)防濺設計；

l  具備單步快速旋塗和多步編程旋塗，可編程10組程序，每組程序10步；

l  電源輸入：AC200-230V

可編程精密勻膠機設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm